шаблон, изготовленный по электронно-лучевой технологии

elektronpluošte technologija pagaminta kaukė statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. electron-beam generated mask vok. elektronenlithografisch hergestellte Maske, f rus. шаблон, изготовленный по электронно-лучевой технологии, m pranc. masque fabriqué par technologie à faisceau d'électrons, m